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微米是極小的距離測量單位。（1微米比一根頭發(fā)的1/25還細(xì)。由于太細(xì)，所以肉眼無法看到，接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值）?？蓪?shí)現(xiàn)微米級(jí)及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù)，但并不表明都很精確，（在許多情況下精度比顯示的分辨率低10-100倍）。實(shí)現(xiàn)1微米的測量分辨率很容易，但要得到1微米的測量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文描述了可用于提高激光干涉儀測量精度的方法，最佳操作步驟和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對(duì)使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車床、銑床以及坐標(biāo)測量機(jī)的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。（與激光測量方法相關(guān)的其它項(xiàng)目，如角度、平面度直線度和平行度測量不包括在內(nèi)，用于實(shí)現(xiàn)0.1微米即0.1ppm以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內(nèi)）


光學(xué)鏡組的位置
光學(xué)鏡的安放應(yīng)保證其間距變化能夠精確地反映待校準(zhǔn)機(jī)器部件的線性運(yùn)動(dòng)，并且不受其它誤差的影響，方法如下：
使用Abbe(阿貝）偏置誤差降至最低
激光測量光束應(yīng)當(dāng)與需要校準(zhǔn)的準(zhǔn)線重合（或盡量靠近）。例如，要校準(zhǔn)車床Z軸的線性定位精度，應(yīng)當(dāng)對(duì)測量光光束進(jìn)行準(zhǔn)直，使之靠近主軸中心線。（這樣可以極大降低機(jī)床俯仰（pitch)或扭擺（yaw）誤差對(duì)線性精度校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的影響。
將光學(xué)鏡組固定牢靠
要盡量減小振動(dòng)影響并提高測理穩(wěn)定性，光學(xué)鏡組牢牢固定所需的測量點(diǎn)上，安裝支柱應(yīng)盡可能短，所有其它緊固件的恒截面都應(yīng)盡量牢固。磁力表座應(yīng)直接夾到機(jī)床鑄件上。避免將其夾到橫截面較薄的機(jī)器防護(hù)罩可外蓋上。確保緊固件表面平坦并沒有油污和灰塵。
將光學(xué)鏡組直接固定在相關(guān)的點(diǎn)上
材料膨脹補(bǔ)償通常只應(yīng)該用在與測量激光距離等長的材料路徑長度上，如果測量回路還包括附加的結(jié)構(gòu)，該“材料死程”的任何熱膨脹或收縮或因承載而發(fā)生的偏斜都將導(dǎo)致測量誤差。為盡量減少此類誤差， 最好將光學(xué)鏡組直接固定到所需的測量點(diǎn)上。在機(jī)床校準(zhǔn)中，一個(gè)光學(xué)鏡通常固定在工件夾具上，而另一個(gè)光學(xué)鏡組則固定在刀具夾具上。激光測量將會(huì)精確地反映刀具和工件之間發(fā)生的誤差。 即使機(jī)器防護(hù)系統(tǒng)和機(jī)器蓋導(dǎo)致難于接近，也一定要盡量將干涉鏡和角錐反射鏡都固定到機(jī)器上。 不要將一個(gè)光學(xué)鏡安裝在機(jī)器內(nèi)部而另一個(gè)安裝在外部如支在機(jī)器外地面的三腳架上，因?yàn)檎_(tái)機(jī)器在地基上的移動(dòng)可能導(dǎo)致校準(zhǔn)無效。然而，是否拆下導(dǎo)軌防護(hù)罩時(shí)需仔細(xì)考慮，因?yàn)檫@可能改變機(jī)器性能。