精密 XY 運動平臺,滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求,適用于LED封裝檢測、玻璃片檢測、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等。
定制品,可根據(jù)客戶需求定制。
采用超靜音耐腐蝕交叉滾柱導軌,有效保證運動精度和直線性,使用性能更加優(yōu)異
無鐵芯直線電機驅動,光柵尺編碼反饋
X、Y 微米級重復定位精度,重復定位精度±1μm
獨特裝配工藝要求,保證產(chǎn)品一致性
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