十字疊層高精度 XY 運動平臺,滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求,適用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維成像等。
定制品,可根據(jù)客戶需求定制。
工作臺采用十字疊層結(jié)構(gòu)形式,滿足XY兩個自由度的運動
直線電機驅(qū)動,光柵尺編碼反饋
最大速度500mm/s,最大加速度3g
進口高剛性直線導(dǎo)軌,可保證長期穩(wěn)定的精度
全封閉防塵結(jié)構(gòu),環(huán)境適用性廣
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