精密 XY 運(yùn)動(dòng)平臺(tái),滿足高速、高加速、高精度的產(chǎn)品定制需求,適用于LED封裝檢測(cè)、玻璃片檢測(cè)、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、晶圓檢測(cè)、三維形貌等。
定制品,可根據(jù)客戶需求定制。
無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),光柵尺編碼反饋
最大速度 300mm/s , 最大加速度0.3g
亞微米級(jí)重復(fù)定位精度
進(jìn)口高剛性直線導(dǎo)軌,可保證長(zhǎng)期穩(wěn)定的精度。
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